纳米三坐标测量机的误差分析与分离(3)

来源:南粤论文中心(WWW.NYLW.NET) 作者:杨洪涛 发表于:2010-11-30 16:11  点击:
【关健词】纳米三坐标测量机;误差源分析;三光束平面干涉仪;误差分离
[10] 胡鹏浩,卫兵,王继臣,等.新型纳米三坐标测量机结构的动态特性分析[J].重庆大学学报:自然科学版,2006,29(7):26-28. [11] 刘红忠,赵万华,李涤尘.多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J].光子学报,2002,31

  [10] 胡鹏浩,卫兵,王继臣,等.新型纳米三坐标测量机结构的动态特性分析[J].重庆大学学报:自然科学版,2006,29(7):26-28.
  [11] 刘红忠,赵万华,李涤尘.多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J].光子学报,2002,31(5):593-595.

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