加载在X、Y向导轨系统上的力,可以看出X、Y向导轨上的载荷和变形量随着、的方向和X、Y坐标位置的变化而变化。导轨系统的示值误差,直线度线值误差和运动误差与其载荷及变形量有关,因此从中可以看出纳米测量机的X、Y
加载在X、Y向导轨系统上的力,可以看出X、Y向导轨上的载荷和变形量随着、的方向和X、Y坐标位置的变化而变化。导轨系统的示值误差,直线度线值误差和运动误差与其载荷及变形量有关,因此从中可以看出纳米测量机的X、Y方向误差与X、Y坐标之间存在相关关系。
2.4 测量机机台变形引起的误差
测量机采用如图1所示的四面对称式机台结构。利用ANSYS对机台进行静力分析和采用模态叠加法进行谐响应分析[7]。根据分析结果对机台进行优化设计,选择合适的机构尺寸,对最后确定的机台结构加载后进行静力分析,得到的变形图如图5所示,最大变形量达到0.110 μm,但是均布于机台中心部位,对测量机的测量精度没有影响。测量机Z轴采用HR2纳米电机驱动,其工作频率是39.6 KHz,所以首先要对机台在该频率附近进行频响分析, 观察结构的变形情况。 在39 000 Hz ～40 000 Hz范围内对结构进行频响分析, 可知在39 000 Hz～40 000 Hz范围内Z轴在X、Y、Z三个方向上的变形很小,平均在1 nm以下。从上述分析可以看出,机台的动静态变形对测量机测量精度的影响可以忽略不计。
2.5 测量机其它误差来源
测量机的其它误差来源主要有垂直度误差,测头瞄准误差、温度热变形误差、软件误差、动态测量误差和其它未考虑误差。测量机的目前精度要求是单轴精度,因此垂直度误差暂时不予考虑。测量机是在控温精度为0.02 ℃的恒温箱内工作,测量属于准静态测量,因此测量机的热变形误差和动态误差可以忽略不计。软件误差无法进行补偿,只有通过建立高精度的误差数学模型来减小它。
3 纳米测量机误差分离 南粤论文中心(WWW.NYLW.NET)
从上述分析汇总可以看出纳米测量机的测量来源很多,各个误差之间存在着相关性。纳米三坐标测量机进行工作时需要对环境进行严格的控制(隔振、隔音、恒温、恒湿等),常见误差的分离主要利用双频激光干涉仪、光电自准直仪和测微仪组合进行。激光干涉仪和激光自准直仪工作时存在发热和震动,它们各自的分离是独立进行的,必须和测量机放在同一工作环境下,会使测量机产生附加的误差,因此必须选择合适的标定设备对误差进行分离。本文根据课题所研究的纳米三坐标测量机的结构和精度要求,利用SP2000-TR微型三光束平面激光干涉仪设计相应的误差分离方案,实现了测量机多误差一次性高精度分离[8]。干涉仪可以同时实现同一方向三个长度的测量,水平或垂直角度可以通过干涉仪三个光束的测量结果通过α=arctan(l3-l2A2)(垂直方向)或α=arctan(l2-l1A1)(水平方向)测得(其中l1、 l2、 l3分别为三束激光测量的距离, A1、 A2为两光束之间距离, 分别为11.973 ㎜和11.974 ㎜),分辨力为0.01角秒。
3.1 误差分离实验装置
利用微型三光束平面干涉仪设计的误差分离实验装置和反射镜架如图6所示。可调支架实现对干涉仪进行水平平移、偏摆、俯仰和垂直高度精密调节,反射镜架实现两反射镜的垂直角度的精密微调。通过两种支架和其它设备进行微调,使干涉仪光路平行于工作台运动方向,反射镜垂直于运动方向,减小由于激光束与运动方向不平行而造成的干涉仪误差。
3.2 误差分离原理
以X向误差分离原理为例,当测量机沿X轴移动时,干涉仪1光束平行于工作台运动方向,这样可以实现测量机X向示值误差、直线度偏摆、俯仰误差的测量。同时干涉仪2激光束垂直于工作台运动方向,可以实现对测量机X向线值误差和直线度滚转误差的分离,滚转误差的分离原理图如图7a所示,可看出α1=α2,其中α1为干涉仪2测量的俯仰误差,α2为X向的滚转误差。
当测量机测头沿Z向运动时,如图7b所示,将反射镜固定在Z轴末端,干涉仪1的激光束通过45°反射镜的转折,可以实现对Z轴示值误差、直线度俯仰、偏摆误差的测量。
4 结论
本文应用动、静力学知识和现代精度保障理论与技术,对所研制的纳米坐标测量机进南粤论文中心(WWW.NYLW.NET)行了全面的误差源分析,获得了详细的误差来源,为后续的误差分配和结构优化设计打下坚实的理论基础。为了验证设计的误差分离装置分离效果,将所设计的误差分离装置如图6所示安装在纳米三坐标测量机XY工作台上,放入控温精度为0.01 ℃恒温箱进行测量,获得纳米测量机各个坐标方向的示值误差、直线度偏摆、俯仰误差、滚转误差和线值误差,如图8所示(由于篇幅所限,只给出X轴方向的俯仰误差图)。从图中可以看出,利用误差分离实验装置可以高精度分离出各单项误差,重复性好,长度与角度分离精度主要由激光干涉仪本身测量精度决定,分别为4 nm和0.05″,实现多误差的一次性分离,避免了激光干涉仪发热、振动等外界环境因素对测量机误差的影响,同时避免了使用单一功能的仪器分次非实时测量带来的附加误差。
1. 第一次测量数据;2. 第二次测量数据;3. 第三次测量数据
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[9] 夏瑞雪. 纳米三坐标测量机误差分离方案的研究[D].合肥:合肥工业大学,2008. (责任编辑：南欧)转贴于南粤论文中心: http://www.nylw.net(南粤论文中心__代写代发论文_毕业论文带写_广州职称论文代发_广州论文网）
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