（3）声表面波(SAW)式气体传感器
　　将SAW气体传感器制作在压电材料的衬底上，一端为输入传感器，另一端为输出传感器，二端之间的区域是能吸附VOC的聚合物膜，被吸附的分子能够改变传感器的质量，从而使声波在材料表面上的频率或传播速度发生变化，通过测量声波的传播速度或频率来测量气体体积分数。其优势在于选择性好、灵敏度高、宽工作电压、对湿度响应低和可重复性高。
　　结语
　　随着人们生活水平的提高及对环保的日益重视，对气体传感器提出了更高的要求，因此对气体传感器的研究和开发也越来越重要。改进现有材料的物化性能，对其进行合理的设计与加工,使其敏感特性最优化是气体传感器的基本研究课题。气体传感器将在充分利用计算机技术、微机械与微电子技术、传感技术、信号处理技术、智能化技术故障诊断技术、等多学科综合技术的基础上得到发展，将传感器的性能达到最优化、微型化、智能化和多功能化。
　　参考文献
　　[1] 王化祥，张淑英.传感器原理及应用（第三版）[M].天津大学出版社，天津，2007.2
　　[2] 刘威. 气体传感器的研究与发展[J].化工纵横,2000
　　[3] 傅军. 国内气敏材料和器件的研究现状及趋势[J].海南师范学院学报(自然科学版),2001
 

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